Mūsdienu vakuuma pārklāšanas iekārtās rupjmašīna ir būtisks pamats, lai sasniegtu stabilu augstu{0}}vakuuma veiktspēju. Plaši izmantota konfigurācija ir DLT.2V80 divu-pakāpju rotācijas lāpstiņu sūknis, kas apvienots ar Roots sūkni. Šī savienošana veido efektīvu priekš-vakuuma vienību, kas spēj ātri samazināt kameras spiedienu no atmosfēras līmeņa līdz zemam -vakuuma diapazonam, radot nepieciešamos apstākļus nākamajam augsta-vakuuma sūknēšanas posmam. Šīs sistēmas pareiza darbības procesa un tehniskās loģikas izpratne ir būtiska, lai saglabātu pārklājuma kvalitāti, aizsargātu aprīkojumu un pagarinātu sūkņa kalpošanas laiku.
Aptuvenās apstrādes sistēma darbojas pēc pakāpeniskas sūknēšanas principa. Divpakāpju rotācijas lāpstiņu sūknis darbojas kā atbalsta sūknis, savukārt Roots sūknis nodrošina lielu sūknēšanas ātrumu no vidēja-līdz-zema vakuuma diapazona. Palaišanas laikā rotācijas lāpstiņas sūknis vispirms samazina spiedienu kamerā. Kad spiediens sasniedz Roots sūkņa pieļaujamo palaišanas spiedienu, Roots sūknis sāk darboties, ievērojami paātrinot gāzes izvadīšanu. Šī koordinētā sūknēšana ļauj kamerai ātri pāriet no atmosfēras spiediena uz zemu -vakuuma diapazonu, kas nepieciešams, pirms tiek iedarbināti augsta-vakuuma sūkņi (piemēram, difūzijas vai turbomolekulārie sūkņi).
Galvenā procesa prasība notiek pēc aptuvenās sūknēšanas stadijas pabeigšanas. Pirms pārslēgšanās uz augstu vakuumu vai ieiešanas vakuuma uzturēšanas fāzē, raupjuma cauruļvads ir jāiztukšo un jāsabalansē spiediens{1}}. Šis solis bieži tiek ignorēts, taču tas ir ļoti svarīgi, lai novērstu vakuuma atpakaļplūsmu. Ja saglabājas spiediena atšķirības starp rupjmašīnas līniju un kameru, vakuuma eļļa no rotācijas lāpstiņas sūkņa var migrēt atpakaļ uz Roots sūkņa dobumu, cauruļvadiem vai pat pārklājuma kameru. Eļļas piesārņojums var nopietni sabojāt plānās kārtiņas kvalitāti, bloķēt gāzes kanālus un palielināt uzturēšanas izmaksas.
Pareiza darbības procedūra sākas tūlīt pēc tam, kad kamera sasniedz mērķa aptuveno vakuuma līmeni. Vispirms ir jāaizver galvenais rupjmaiņas vārsts, kas savieno kameru ar rupjā apstrādes līniju. Tas izolē kameru no atbalsta sūkņa sistēmas un novērš nekontrolētas spiediena svārstības. Pēc tam raupjmašīnas cauruļvadā ir jāievada sauss slāpeklis vai tīrs, sauss saspiests gaiss, lai kontrolētu mikro-spiediena atgaisošanas procesu. Šis solis lēnām izlīdzina spiedienu cauruļvadā līdz tuvu atmosfēras līmenim, neievadot mitrumu vai piesārņotājus.
Priekšroka tiek dota sausajam slāpeklim, jo tas ir inerts un nesatur ūdens tvaikus vai skābekli, jo abi var noārdīt vakuuma eļļu un piesārņot sūkņa iekšējās sastāvdaļas. Ja slāpeklis nav pieejams, var izmantot filtrētu un žāvētu saspiestu gaisu, ja ir uzstādīti eļļas un mitruma uztvērēji. Šīs darbības mērķis nav pilnībā iztukšot kameru, bet gan stabilizēt spiedienu aptuvenā cauruļvada iekšpusē. Tikai tad, kad cauruļvada spiediens atgriežas drošā līmenī, sistēmai vajadzētu pāriet uz vakuuma turēšanas režīmu vai izslēgšanu.
Šī cauruļvada spiediena atjaunošanas procesa nozīme ir ne tikai tīrība. Tas arī aizsargā sūknēšanas sistēmas mehānisko integritāti. Rotācijas lāpstiņu sūkņi blīvēšanai, eļļošanai un dzesēšanai izmanto vakuuma eļļu. Pēkšņas spiediena atšķirības var izraisīt eļļas migrāciju, putošanu vai pretplūsmu. Roots sūkņi, kas darbojas bez iekšējās eļļošanas kompresijas kamerā, ir īpaši neaizsargāti pret piesārņojumu no atbalsta sūkņa eļļas. Stabilizējot spiedienu pirms izolācijas, operatori samazina nodilumu, novērš sūkņa aizķeršanos un samazina apkopes biežumu.
Salīdzinot ar viena -sūkņa rupjmašīnas sistēmām, rotācijas lāpstiņa un Roots sūkņa kombinācija nodrošina lielāku sūknēšanas ātrumu, īsāku sūkņa-dīkstāves laiku un uzlabotu stabilitāti rūpniecisko pārklājumu ciklos. Tomēr šī augstāka veiktspēja prasa arī stingrāku darbības disciplīnu. Cauruļvada atgaisošana, vārstu secība un aizsardzība pret sausu gāzi nav obligātas darbības; tās ir procesa izstrādes neatņemama sastāvdaļa.
No nozares viedokļa piesārņojuma kontrole ir kļuvusi arvien svarīgāka, jo pārklājumu tehnoloģijas virzās uz augstāku precizitāti un plānākām plēvēm. Pat eļļas tvaiki var ietekmēt nogulsnēto slāņu saķeri, optisko veiktspēju vai elektriskās īpašības. Tāpēc standartizētas rupjās apstrādes procedūras tagad tiek uzskatītas par kvalitātes kontroles daļu vakuuma pārklājumu ražošanā.
Rezumējot, aptuvenās apstrādes stadija, izmantojot DLT.2V80 divpakāpju sūkni un Roots sūkņa kombināciju, ir vairāk nekā vienkārša iepriekšēja -vakuuma darbība. Tas ir rūpīgi kontrolēts process, kas ietver pakāpenisku sūknēšanu, vārstu izolāciju, sausās gāzes atgaisošanu un spiediena stabilizāciju. Šo darbības vadlīniju ievērošana nodrošina tīrus vakuuma apstākļus, aizsargā kritiskās sūkņa sastāvdaļas un garantē konsekventu pārklājuma veiktspēju ilgos ražošanas ciklos.